方板Load Port

方板Load Port:
為了對應新一代的先進封裝，使用方形的玻璃基板取代傳統的圓形矽晶圓，我司也開發對應不同大小(方板)的Load Port。
・600mm x 600mm
・515mm x 515mm
・515mm x 510mm
・310mm x 310mm
・300mm x 300mm


** 皆已符合並取得SEMI S2認證 **


功能簡介:
1. 無顆粒 (particle free):可防止粒子滲透至FOUP中
2. 操作容易 (User Friendly):提供PC軟體調機工具, 提供標準通訊操作命令(ASCII)
3. 獨創性 (Originality):晶圓,高效率檢測技術(晶圓在席, 厚片/薄片, 交叉)
4. 協助客戶研發設計各項產品不同需求, 且可配合客戶自訂規格模組化等服務.