Frame Wafer Load Port可對應市面上不同廠牌Cassette或FOUP採可變化式模組使用鐵框(Frame). 亦可搭配N2 Purge模式.
盛詮Frame Wafer Load Port 已通過SEMI S2認證.
功能簡介:
1. 無顆粒 (particle free):可防止粒子滲透至FOUP中
2. 操作容易 (User Friendly):提供PC軟體調機工具, 提供標準通訊操作命令(ASCII)
3. 獨創性 (Originality):晶圓,高效率檢測技術(晶圓在席, 厚片/薄片, 交叉)
4. 協助客戶研發設計各項產品不同需求, 且可配合客戶自訂規格模組化等服務.
回列表
